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真空度測試儀的研製與應用

返回打印來源：儀天成電（diàn）力時間：2013/07/30 閱讀：次

       真空度測試儀的主要作用是,根據磁控放電的方法測量真空泡內離子電流,以此量測量泡（pào）內（nèi）真空度,並可用於評定真空泡使用壽命。該測（cè）試儀（yí）既（jì）可用於真（zhēn）空泡出（chū）廠檢測流水線,也可單獨進行測量（liàng）。
       基本工作原理（lǐ）
       磁控放電法測試真空度的基本原理如下:將真空泡（pào）兩觸頭拉開一定的開距,並置於通有大電流的螺線管內,在（zài）兩觸頭間施（shī）加高壓（yā）脈衝,從（cóng）而在真空泡內產生（shēng）高壓電（diàn）場和軸向脈衝磁場。這樣,在（zài）脈（mò）衝強磁場和強電場的作用（yòng）下（xià）,真空泡中（zhōng）的電子（zǐ）作螺旋運動,並與殘餘氣體分子發生碰撞產生電離,生成（chéng）的離子電流與殘餘氣體密度即真空度近似成比（bǐ）例關係。
       研製的測試（shì）儀（yí）可用於測量泄漏電流、全電流和離子電流（liú）3個電流值。
       (1)泄（xiè）漏電流。將真空（kōng）泡動靜觸頭拉開一定的間距,並加高壓直流脈衝電（diàn）壓,則會（huì）在兩觸頭間、觸頭和屏蔽罩間（jiān）產生強（qiáng）電場。根據場致發射理論（lùn）,陰極和（hé）屏蔽罩表麵會發射出電子（zǐ）,向陽極運動,形成電流,即泄漏電（diàn）流。由於電子的自由行程遠（yuǎn）遠大於兩觸頭間距,電子幾乎不（bú）與真空泡內殘（cán）餘氣體分子發生碰撞,所以泄漏電流不能正確反應真空泡的真空度。
       (2)全（quán）電流。為了使泄漏電（diàn）流的（de）電子能（néng）夠與殘餘氣體分子發生碰撞,目前常（cháng）用的方法是在軸向上加一較強的磁場,使得（dé）場致發射的（de）電子在（zài）電場和磁場的共同作用下發生螺旋運動,這加大了電子運動的行程及與殘餘氣體分子發生碰撞的（de）概率。當電子與殘餘氣體分（fèn）子發生（shēng）碰撞（zhuàng）後會產生電離現象,並形（xíng）成穩定的自持放電,這時測（cè）量出的電流值為全電流值。
       (3)離子電（diàn）流。全電（diàn）流的測量值包括了陰極和屏蔽（bì）罩發射的泄漏電（diàn）流,以及殘餘氣體被碰撞後產生電離的離子電流。為了準確測量真空泡內的真空（kōng）度,還得（dé）從全電流中減掉泄漏電流值,得到的才是真正反映真空泡（pào）真空度的離子電流值。真空泡使用壽命評定原理:真空泡隨著正常使用時間的（de）增長,內部真空度也呈線性增加。通過測定兩個間（jiān）隔時間比較恰當時的真空度,就可確定（dìng）其變化率,從而確定使用（yòng）過任意（yì）時間後真空泡真空度的大小（xiǎo）。

      主題詞：真空度測試儀工作（zuò）原（yuán）理

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